桌上型無氧烘箱 實驗高溫無氧固化爐

   桌上型無氧固化爐是一種專為高精度電子元件、IC/芯片、PI/BCB/CPI/BPO等膠水等材料設計的緊湊型固化設備，結合無氧環境與高效加熱技術，確保材料在固化過程中避免氧化。以下是相關產品的綜合信息：

一、?產品類型與特點?

1. ?真空無氧固化爐?

2. 采用真空環境與充氮技術，確保無氧條件，適用于PI膠、BCB膠等高精度材料固化?。

3. 支持PLC全自動控制，溫度范圍可達400℃以上，內膽采用SUS304/316不銹鋼材質，確保潔凈度與耐用性?。
   

4. ?智能型無氧烘箱?

5. 集成智能烘箱管理系統，支持TCP/IP協議對接工廠系統，實現自動化烘烤?。

6. 潔凈等級高，含氧量可控制在10ppm以下，適合IC晶圓、MEMS等無塵環境應用?
   

7. ?小型桌面型設備

8. 緊湊設計，實驗專用。

   使用微量氮氣，耗氣量更低，無需冷卻水。

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二、?核心參數與配置?

• ?適用產品：1-8寸晶圓、方片或碎片

• 溫度控制?：RT+50–400℃

• 溫度波動度：≤±1℃
  

• 氧含量：含氧量可低至10ppm以下?，配備進口氧含量分析儀實時監測

• 升溫速率：1-10℃/min,速率可調

• 升溫方式：多段程控式，支持20段程序升溫

• 降溫速率：輔助降溫

• 真空度：≤ 1torr
  

• ?氣體系統?：自動控制充氮閥門+可調式流量計

• 排 氣 口：KF16
  真空泵：渦旋干泵（進口）
  

• ?結構設計?：內膽為優質不銹鋼，全周氬弧焊無縫處理，外箱保溫材料超細陶瓷纖維

  操作界面：人機界面+PLC，可一鍵運行，多個工藝編輯

三、?典型應用場景?

• ?電子制造?：IC封裝、晶圓固化、指紋識別模組等無氧環境下的膠水固化?。

• ?精密材料?：PI膠、BCB膠、導電膠的真空無氧固化，避免氧化導致的性能劣化?。

• ?實驗室研發?：小型桌面設備適合實驗室小批量樣品處理，快速干燥?。

桌上型無氧烘箱 實驗高溫無氧固化爐供應商上海雋思儀器